Kompetenzen

Dresdner Fraunhofer-Cluster Nanoanalytik

Kompetenzen der Partner

  • Elektronen- und Ionenmikroskopie

    • Rasterelektronenmikroskopie (SEM)
    • Analytische Transmissionselektronenmikroskopie (TEM)
    • Fokussierende Ionenstrahltechnik (FIB)

  • Rastersondenmikroskopie

    • Akustische Rasterkraftmikroskopie (AFAM)
    • Oberflächenpotenzialmikroskopie
    • Elektrochemische Rastertunnelmikroskopie (STM)

  • Spektroskopische Verfahren

    • Röntgenangeregte Photoelektronenspektroskopie (XPS)
    • Sekundärionenmassenspektroskopie (SIMS)
    • Atomsondentomographie

  • Röntgenanalytik

    • Nano-Röntgenmikroskopie und Nano-Röntgentomographie
    • Röntgen-/EUV-Reflektometrie & Komponentenentwicklung
    • Temperaturabhängige Röntgenbeugung (XRD)

  • Synchrotronstrahlungsanalytik

    • Nano-Röntgenmikroskopie und Nano-Röntgentomographie
    • Photoemissions-Elektronenmikroskopie (PEEM)
    • Spektroskopie (XPS, XAS)

  • Optische Verfahren

    • Optische Schichtanalytik/Ellipsometrie
    • Weißlichtinterferometrie
    • Metallographie

  • Nanomechanische Messverfahren

    • Nanoindentation
    • Rasterkraftmikroskopie (AFM)
    • Laserakustische Prüfverfahren

  • Digitale Bildkorrelationstechniken

    • Verformungsanalyse - microDAC, nanoDAC
    • Quantifizierung von Verzerrungsfeldern
    • Eigenspannungsanalyse

  • Nanopartikelcharakterisierung

    • Partikelgröße
    • Verhalten in Suspensionen
    • Toxikologie

  • Inline-Metrologie

    • Review-SEM mit FIB
    • Röntgenbeugung (XRD)
    • Spektralellipsometrie

  • Systemintegration

    • 3D Waferlevel-Systemintegration
    • 300 mm Cu-TSV-Technologie
    • 300 mm Waferlevel Assembly und Stacking

  • Entwurf und Entwurfsunterstützung

    • Technologienahe Modellierung
    • Simulations- und Modellierungsverfahren
    • Entwurf unter Randbedingungen