Fraunhofer IPMS

In enger Anbindung an die Hersteller am Standort Dresden/Nord forschen die Wissenschaftler dieses Geschäftsfeldes des IPMS unter anderem an Themen wie der Weiterentwicklung und Charakterisierung von Materialien und Analysemethoden oder der Weiterentwicklung von Prozessmethoden. Durch die lokale Nähe zu den Fertigungslinien des Partners und das vorhandene Know-how können viele Synergieeffekte genutzt werden. Dadurch ist es möglich, Entwicklungen und neue Prozesse schnell in die Fertigungsabläufe einzubauen, was es wiederum erlaubt, Herstellungskosten und -zeit zu sparen.

Ortsaufgelöste Zusammensetzungsanalyse: 2D und 3D Tiefenprofilierung (ToF-SIMS), 2D Elementverteilung (EDX, EFTEM, EELS), fokussierende Ionenstrahltechnik (FIB)

(Hochtemperatur-)Röntgenbeugung: Texturanalyse, Röntgenreflektivität (XRR), Dünnschicht-Phasendiagramme

Inline-Metrologie für 300 & 200 mm Wafer: Chemische Analytik (XPS), Schichtdicke & -widerstand, Review-SEM mit FIB