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3. Februar 2021, 15 Uhr

Neuartiges in-situ Vier-Punkt-Biegesystem für die Analyse von Spannungseffekten

mit Christoph Sander
(Fraunhofer IKTS, Nanomechanik und Zuverlässigkeit für die Mikroelektronik)

Am Fraunhofer IKTS wurde ein neuartiges in-situ 4-Punkt-Biegesystem entwickelt, um den Einfluss von mechanischer Beanspruchung auf z. B. mikroelektronischen Bauelementen, Dünnschichtsystemen, neuartigen Materialien etc. zu charakterisieren. Wegen seiner geringen Bauhöhe kann das System mit eingespannten Proben in-situ in verschiedenen Analysegeräten wie Nanoindentern, SEMs oder Raman-Systemen verwendet werden. Aufgrund des homogenen Biegemoments zwischen den inneren Auflagepunkten ist der Probenbereich, der unter Belastung untersucht werden kann, relativ groß. Zusätzlich kann aufgrund der innovativen Probenhalterung abwechselnd Zug- und Druckspannung auf die Probenoberfläche aufgebracht werden, ohne den Aufbau zu verändern und die Probe zu demontieren.